１、工艺适用于加过量氢除氧后再除氢或加欠量氢后再深度除氧的两种方式，纯化后氮气中只含有微量氧气和微量氢气，适用于对过量氢有一定要求的工艺场合。
２、特点：原料气氧含量小于5000ppm时用碳载脱氧剂不需配氢，碳纤维既是载体也是还原剂，可直接脱除惰性气体、氮气中的氧，脱氧容量大，深度好，适用于无氢源的场合。
３、采用高效催化剂除氧，不需活化，除氧范围广，适用于含氧量较高，对过量氢不作过高要求的工艺生产。
４、技术指标
处理气量：（1-3000）Nm3/h
纯度：≥99.9995%
氧含量：≤5ppm
氢含量：500ppm-5%（可调）
露点：≤-70oC