王季陶
教授、博士生导师(退休)、
中国真空学会薄膜专业委员会委员、
化学气相淀积(CVD)学组组长
简介:
1955 复旦大学化学系本科毕业
1955 - 1969 复旦大学化学系
1969 - 1982 复旦大学物理系
1982 - 1989 复旦大学材料科学系
1985 第1届全国化学气相淀积会议主席(上海)
1987 第2届全国化学气相淀积会议主席(无锡)
1989 - 1998 复旦大学电子工程系
1989.3 - 1991.3 瑞典Uppsala大学访问科学家
1999.5 第1届亚洲化学气相淀积会议主席
最重要成就体现在由跨国Springer科技图书公司2002年出版发行的一本《非平衡非耗散热力学---及其在低压金刚石合成中的应用（英文版）》原创性专著中, 开辟了现代热力学的一个全新领域, 改变了150年来经典的平衡热力学和非平衡热力学基本分类系统, 建立了一个完整的现代热力学分类系统。此外, 还在国际上提出"低压化学气相淀积薄膜工艺的计算机模拟模型"和"化学气相淀积钨膜的半封闭结构模型"。有的理论成果已被国内外著作或教学中采纳或引用。在1999年担任首届亚洲化学气相淀积会议主席, 已发表约150篇学术论文, 多次应邀在国际会议上作特邀报告。 "低压化学蒸汽淀积设备"获得1985年国家科技进步二等奖、获1983年国家发明四等奖以及上海市重大科技成果二等奖、电子工业部科技成果二等奖等多项科技奖励。其它著作有《低压化学蒸汽淀积论文选（一）：低压化学蒸汽淀积的计算机模拟"（英文版）》、《半导体材料》、《金刚石低压气相生长的热力学耦合模型》、《非平衡定态相图：人造金刚石的低压气相生长热力学》等。主持承担了国家863项目, 国家自然科学基金海外学者合作研究基金、国家自然科学基金, 高等学校博士点基金等项目多项。
专业特长:
薄膜材料、半导体材料、化学气相淀积、
非平衡非耗散热力学及其非平衡相图应用的现代新领域
科技奖项:
国家科技及发明奖：
1985年国家科学技术进步奖二等奖
1983年国家发明奖四等奖
上海市和国家部、委科技奖：
1986年上海市科学术技进步奖三等奖
1983年电子工业科技成果二等奖
1982年上海市重大科技成果奖二等奖
1982年电子工业科学技术优秀成果奖
1980年上海市重大科研成果奖三等奖
