关键尺寸

关键尺寸

关键尺寸（CD） 芯片上的物理尺寸特征被称为特征尺寸。描述特征尺寸的另一个术语是电路的几何尺寸。特别值得关注的是硅片上的最小特征尺寸，也称为关键尺寸或CD。例如：如果在芯片上的最小尺寸是0.18μm，那么这个尺寸就是CD。自半导体制造业开始以来，器件的CD一直在缩小，从20世纪50年代初期以大约125μm的CD开始，目前是0.18μm或者更小。半导体产业使用的“技术节点”这一术语描述在硅片制造中使用的可应用的CD。