光谱仪的主要技术指标及技术关键包括检出限、灵敏度、分析精度、测量的稳定性、校准方法等。
光谱仪使用的氩气纯度要求≥99.996%,其纯度不够的氩气将导致以下后果：
1．校正系数超出要求范围，标准化系数偏高。
2．激发光源不激发及跳闸。
3．激发时扩散放电，激发点呈白色（白点），强度降低，样品表面无侵蚀，分析数据不准确。
4．分析数据不稳定，特别是分析波长较低的元素如：C、P、S等，还有一些高合金铸件、铸铝、铸铁、纯金属等。
如果出现了以上问题，再好的光谱仪也是分析不出一个准确的数据。所以，想要光谱仪分析出一个准确的数据，前提就是要给光谱仪提供良好的气源，即含量≥99.996%的氩气。而通过氩气净化机输出的氩气含量≥99.9999%.远高于光谱的供氩要求。
经济核算：以氩气净化机在光谱仪器中的应用举例说，光谱仪使用过程中最大的消耗品就是氩气，使用氩气净化机可以把价格昂贵（市场平均价240元/瓶）的高纯氩或液态氩换成价格低廉（市场价平均价40元/瓶）的普通纯氩就可以达到光谱要求的氩气纯度99.996%。以每天使用光谱仪8小时（3天换1瓶），1年开机350天，如光谱仪使用10年计算，节省的氩气费用约23万元。
350/3 X（240-40）X 10 ≈ 23.33 (万元)
