高纯气体系统用高准度阀
气体工业名词,用于极准确调节流速,特别适用于流速小于1000mLmin的场合。由于阀杆与孔组件的特殊设计,可实现极小流量的准确调节。可以转换阀杆孔组件以适应不同流量的要求。美国Scott特气公司生产的高准度阀有6种孔径,对应气体流量分别为(mLmin):200,400,760,2700,6500,21000。
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高纯气体系统用高准度阀
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