顾文琪

顾文琪 中国科学院博士导师。研究员。1964年毕业于北京机械学院。1967年中国科学院电工研究所硕士毕业。1980年至1983年，作为访问学者在德国亚深工业大学半导体电子学研究所工作2年。1985年至1987年，作为技术专家受聘于香港华科电子有限公司，从事电子束制版技术工作。967年起在中国科学院电工研究所工作，曾任该所微细加工研究室主任、副所长，中国科学院高技术局局长、中国科学院综合计划局局长。现任该所研究员、博士生导师，中国科学院创新工程重大项目负责人。顾文琪研究员，长期工作在微细加工科研领域，从事电子束曝光技术的研究，注重于电子束曝光系统总体设计和电子光学柱设计，发表论文30多篇。先后主持和参与1:1电子束投影系统、可变矩型电子束曝光机、亚微米电子束曝光机以及0.1微米电子束曝光机装置研究，目前正主持中国科学院创新工程重大项目——电子束缩小投影成像曝光系统研究，该项目主攻21世纪纳米电子束光刻技术。顾文琪研究员，先后获得中国科学院科技进步二等奖3项：DY-5型亚微米电子束曝光机研制、微米级电子束曝光机实用化、管理现代化的研究和实践。

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