光阻

光阻

光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。

光阻的类别

光阻有两种，正向光阻(positive photoresist)和负向光阻(negative photoresist)

正向光阻是光阻的一种，其照到光的部分会溶于光阻显影液，而没有照到光的部份不会溶于光阻显影液。

负向光阻是光阻的一种，其照到光的部分不会溶于光阻显影液，而没有照到光的部份会溶于光阻显影液。

在紫外线和短波长的吸收

光阻通常使用在紫外光波段或更小的波长(小于400纳米)。例如DNQ在300纳米到450纳米间有很强的吸收。