精密测试技术及仪器国家重点实验室是1989年经国家计委批准建立的，于1995年通过国家正式验收。 精密测试技术及仪器国家重点实验室设有清华大学和天津大学两个实验区。这里介绍的是清华大学试验区的情况。
精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学实验区是以清华大学精密仪器系光学仪器专业即光电工程所为中心实验室、结合其它教研室组合而成。目前有一个中心实验室、四个分室：光电工程中心实验室、微细工程分室、传感器分室、精密测试分室、微型机械分室。
精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学实验区是"仪器科学与技术"和"光学工程"两个一级学科的实验和教学基地。这两个一级学科始创于1958年底，当时叫"精密仪器"和"光学仪器"专业。两学科1981年被首批确定为博士点，1988年评为重点学科,同年被批准设立博士后流动站.
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室目前有固定人员46人，其中工程院院士一名，教授26人，副教授19人.
过去五年中，精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学实验区共承担科学研究120余项，其中26项国家自然科学基金，8项"863"高技术,2项 "973" 国家重大基础研究中承担中的4个课题，科研经费600余万，获国家级奖励4项，部级奖励12项（另有教育部科技进步奖两项）。申请专利49余项，获发明专利权13余项，实用新型10项。出版（译）著作5本。发表在国内外刊物上、可在信息网上检索论文分别为80余篇和280余篇，其中被SCI收录 80 余篇，国际国内会议240余篇，并与美、芬，日、德、加、英、法、韩等国开展了广泛的国际学术交流，得到了芬兰、日本、德国、香港等国家和地区多项科研项目的经费资助，获得了良好的声誉。
研究方向：
(1) 激光及光电测试技术
(2) 传感及测量信息技术
(3) 纳米测试技术
(4) 微型光机电及光学集成技术
(5) 制造质量控制技术
(6) 光存储技术（新生长点）
教学与招生
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室以清华大学为依托，是教学和人才培养基地，拥有两个重点学科“光学工程”和“仪器科学与技术”，并于1988年起建立了博士后流动站。接受本校及外校优秀本科生通过推荐免试，或参加全国统一考试的研究生入学，并可为工矿企业、研究院所委托培养硕士研究生及博士研究生。还试行进校不离厂、在职攻读、论文研究生等多种形式培养高层次技术人才以适应社会需求。
