半导体硅阻效应:在硅片上施加压力而引起电阻值变化,因此可被用来做压力传感器与应变片很相似。但有重要的区别。硅的灵敏度、或压力系数,大约是应变片的100倍,而且,硅是接收应力理想的材料。硅是完美晶体,它不会永久的伸展,在应力消失以后,又会回到原来的形状。
作为压力传感片,硅是优于金属的,因为硅咋工作范围内有着特别好的弹性,通常只有硅片破裂时才停止正常工作。
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