1945年上半年，八路军鲁中军区一部解放了临朐南部的大部分村庄，日军龟缩在县境的几个据点里。6月18日，八路军鲁中军区主力二团在县地方武装配合下，解放盘阳，19日收复七贤，20日一举摧毁海浮山上的伪军碉堡，包围了冶源。
当时，驻冶源的是伪清乡大队的1个中队，约300余人。伪军请求驻临朐城的日军增援，临朐城日军又向益都求援。21日，日军34人和伪军300多人前往冶源增援。八路军鲁中军区二团决定围点打援。当日伪军行至冶源北面的石河滩时，被八路军伏击，日军企图后撤，被阻截，遂退至石河南岸芦苇园里，又遭到埋伏在这里的八路军的猛烈射击，日军除一翻译官被俘外，其余全被击毙。被阻截在石河北岸的伪军，向北逃窜，又被埋伏在洼了村一带的八路军打死近百人，俘200余人。
6月22日(农历五月十三日)，八路军冒雨对冶源据点发起进攻，用炮火轰开围墙，越过壕沟，炸毁碉堡，经激战，击毙伪军副中队长马万德，伪军全部缴械投降，冶源解放。群众欢呼这次胜利，县内曾流传一首《五月十三打冶源》的民歌。