深能级是指靠近导带的空穴束缚态,或能量很接近价带顶的电子束缚态。半导体中的深能级所包括的范围十分广阔,可以是单个的杂质原子或缺陷,也可以是杂质和缺陷的络合体。它们往往可以连续接受几个电子,在禁带中形成多重能级,各对应于不同的电荷态。
半导体的深能级杂质可以提供电子和空穴复合的渠道,起“复合中心”的作用,其具体过程是,导带电子落入深能级,然后再落入价带的空能级;其总效果是消灭一对电子和空穴,即电子-空穴复合。这个过程也可以看做是深能级先后俘获一个电子和一个空穴。复合的逆过程就是电子-空穴对的产生,它可以看做是深能级先后发射一个电子和一个空穴。
杂质能级的位置位于禁带中心附近,电离能较大,在室温下,处于这些杂质能级上的杂质一般不电离,对半导体材料的载流子没有贡献,但是它们可以作为电子或空穴的复合中心,影响非平衡少数载流子的寿命,这类杂质称为深能级杂质。