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射频电源

王朝百科·作者佚名 2010-06-21

射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PCVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.

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