EPMA是英文Electron probe micro-analyzer的首字母缩写，中文译为电子探针显微分析仪，也被简称为电子探针(electron microprobe)或探针(probe)。
可在样品微米领域进行高灵敏度的元素分析。控制系统全部数字化。观察、分析只需使用鼠标、键盘，操作极为便利,并可通过互联网进行计算机操作。
利用电子微束对微小的固体样品就地进行无损化学分析。与扫描电镜(Scanning Electron Microscope)原理基本相同,但增加了化学分析的功能。这是电子探针最重要的功能，利用波长色散光谱分析法(Wavelength Dispersive Spectroscopy)可以在一两个微米的很小范围内得到精确定量的元素分析结果。三位空间分析能力，与描绘样品详细图像的能力相结合，使其能够分析地质学样品和解析出单相内（地质学上研究的通常是玻璃体或矿石）复杂的化学剂量变化。使用电子束能够得到比可见光束高得多的分辨率。