台面型晶体管(二极管和三极管)是相对于平面晶体管而言的,其结构呈现为台面形状,故为所谓台面结构(Mesa structure)。
台面结构的优点:消除了平面结构中的p-n结面的弯曲部分,使得p-n结面与半导体片侧表面垂直,p-n结的表面电场比较低,则可以保证p-n结击穿基本上是体内的雪崩击穿,避免了较低的表面击穿,从而提高了器件的耐压性能。
台面结构一般可通过研磨来获得,但是现在在集成电路芯片中往往可通过刻槽等技术来实现。[1]
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台面结构的优点:消除了平面结构中的p-n结面的弯曲部分,使得p-n结面与半导体片侧表面垂直,p-n结的表面电场比较低,则可以保证p-n结击穿基本上是体内的雪崩击穿,避免了较低的表面击穿,从而提高了器件的耐压性能。
台面结构一般可通过研磨来获得,但是现在在集成电路芯片中往往可通过刻槽等技术来实现。[1]