表面复合（Surface recombination）：
表面复合就是半导体少数载流子在表面消失的现象。由于半导体表面是晶格的终止面，将引入大量的缺陷，这些缺陷也就是载流子的产生-复合中心；并且由于沾污等外界因素的影响，还更增加了产生-复合中心。所以，半导体表面具有很强的复合少数载流子的作用，同时也使得半导体表面对外界的因素很敏感，这也是造成半导体器件性能受到表面影响很大的根本原因。
表面复合的强弱通常用所谓表面复合速度来表征，这就是说，表面复合就相当于载流子以一定的速度流出了表面；表面复合速度的单位是cm/s。