氯氧化钽氯氧化钽(tantalic oxytrichloride) TaOCl3 Mr303.30。性质不如NbOCl3（氯氧化铌）稳定，加热时容易分解。可在584~753℃下用Ta2O5和TaCl5反应，或TaCl5的二乙基醚合物在真空中加热至65℃，或TaCl5和Sb2O5在180~250℃和Cl2气氛中反应制备。