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微机械

王朝百科·作者佚名 2010-08-16

微机械：利用半导体技术（特别是平板印制术，蚀刻技术）设计和制造微米领域的三维力学系统，以及微米尺度的力学元件。它开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。

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