图书信息
书 名: 硅微机械加工技术
作者：埃尔温斯波克 译者:胡真
出版社：化学工业出版社
出版时间： 2007年05月
ISBN: 9787502592585
开本： 16开
定价: 58.00 元
内容简介英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅——硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。
图书目录1简介
2各向异性湿去腐蚀
3湿法化学腐蚀的化学物理机制
4硅片键合
5实例和应用
6表面微机械加工
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