电晕式臭氧机就是采用电晕放电法产生臭氧的基本原理是臭氧发生器由一对电极、介电体与放电气隙构成。当外加交流高压与两个电极时，由于高速电子与氧分子碰撞，在外界高能量的作用下，气隙中发生电晕放电，带氧的气体被电离，间隙中的含氧离子化浓度大幅度增长率加，氧离子与氧分子相互之间反应形成臭氧，其反应过程如下：
Q+高能量电子—一20+低能电子
O+Q+M一03+M+热
反应式中的M是间隙中的其它气体分子，臭氧的生成也是一个热反应过程，因此反应中产生热量。
采用电晕放电原理制造的臭氧发生器是目前应用最广，单机臭氧量最大，生产量最大的臭氧发生装置，相对能耗较低。该单机臭氧量已经达到300kg／h，能耗氧气源为6kWh-7kWh(k903)，空气源约为14k903 16k903。