热偶规有加热丝、热偶丝和玻壳组成：
具体工作原理如下：热偶真空计通电给加热丝加上一个稳定不变的加热电源，在低真空内，根据气体分子热传导的能力越小，真空度越高的现象，把真空度反映出来。真空度越高，气体分子就越少，气体分子从热丝上带走的热量就越少，从而热偶丝上感应的热电势就越大，根据热电势的大小来测量真空度
热丝大多由钨丝构成,热偶由铜—康铜 铬----康铜 铬镍---铝镍构成.