■产品概述:
热解石墨是新型炭素材料,是高纯碳氢气体在一定的炉压下,在1800℃~2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳,它具有高密度(2.20g/cm)、高纯度(杂质含量(0.0002%)和热、电、磁、力学性能各向异性。在1800℃左右仍能维持10mmHg的真空度。
■主要应用:
石墨加热器
导流桶
PBN/PG复合加热器
原子吸收管
■主要特点:
Ø 表面致密,无气孔,易机械加工。
Ø 纯度高,总杂质含量<20ppm,气密性好。
Ø 耐高温,强度随使用温度升高而增加,2750℃时强度达到最高値3600℃升华。
Ø 弹性模量低,导热率高,热膨胀系数小,制品优良好的抗热震性能。
Ø 化学稳定性好,耐酸、碱、盐及有机试剂,对熔融金属、炉渣和其他腐蚀性介质均不起作用,在大气中400℃以下氧化不明显,800℃时氧化速度明显增加。
Ø 高温下不放任何气体,在1800℃左右能维持10-7mmhg的真空。
■涂层产品应用:
Ø 半导体行业中,拉制硅单晶导流筒。
Ø 半导体行业石墨加热器涂层。
Ø 晶片退火工艺PBN/PG复合加热器涂层。
Ø 分析仪器用的原子吸收管热解石墨涂层。
Ø 电子束蒸发蒸铝坩埚。
■主要参数:
性能
单位
数值
表观密度
g/cm3
2.2
氦透过率
cm3/s
<1×10-12
抗张强度
室温
2750℃
Mpa
98(力⊥“C”向)
264(力⊥“C”向)
抗压强度
室温
室温
Mpa
64.11(力⊥“C”向)
304(力||“C”向)
抗弯强度
室温
室温
Mpa
127(力⊥“C”向)
118(力||“C”向)
热传导率
W/m•k
376 (“a”向)
2(“C”向)
热膨胀
10℃-1
1.26 (“a”向)
(50-800℃)
电阻率
Ω•cm
2×10-4(“a”向)
0.5(“C”向)