基本信息·作者：李锦明
·出版社：国防工业出版社
·页码：182 页
·出版日期：2006年07月
·ISBN：7118045853
·条形码：9787118045857
·版本：第1版
·装帧：平装
·开本：32开
内容简介本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺，着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现，最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。
本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书，也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。
目录第一章绪论
第二章电容式微机械陀螺的结构设计与加工
第三章电容式微机械陀螺信号处理方法的研究及仿真
第四章电容式微机械陀螺接口电路的设计与仿真
第五章电容式微机械陀螺的性能测试
附录一电容式微机械陀螺的电原理图
附录二电容式微机械陀螺的SIMULINK仿真的部分代码
参考文献
