主要研究方向：①系统集成芯片设计方法学研究和应用
②集成电路计算机辅助设计
③半导体工艺/微电子薄膜及其在固态器件中的应用
④微电子机械和集成传感器研究
微电子与固体电子学专业的学科方向是电子科学与技术。本专业以培养集成电路设计理论与技术研究和应用的高级人才为目标，培养中以工业应用系统为背景。因此，通信、电子、控制、计算机、电气工程等专业的本科毕业生均可报考。本专业配备有集成电路设计实验室、集成电路测试实验室、工作站实验室、研究生机房等先进的实验室，提供了各种与本专业培养方向有关的实验技术和手段。本专业硕士研究生在学习期间，需要学习现代电路理论、现代电子技术、集成电路设计基本理论、半导体元件物理基础及工艺、集成电路验证的理论与方法、SoC设计原理等专业课程。同时，还必须选修有关通信、控制、电气工程、生物医学工程或计算机工程等专业的相关课程。
包括6个主要学科分支：
1．RF 集成电路与系统设计。
本研究方向以RF集成电路与系统设计、测试与分析技术为研究目标，以全定制CMOS无线收发机集成电路设计中的RF集成电路以及无源集成元件电路为主要研究内容，重点研究RF集成电路与系统设计和测试的有关理论与实际应用问题。
2．混合信号集成电路设计与分析。
本研究方向以集成电路设计、测试与分析技术为研究目标，以混合集成电路中的A/D和D/A以及无源集成元件电路为主要研究内容，重点研究混合信号集成电路设计和分析的有关理论与实际应用问题。
3．SoC结构理论与应用设计技术。
本研究方向以SoC集成电路设计技术为研究目标，以CPU结构、总线结构、混合SoC集成电路为主要研究内容，重点研究SoC结构设计的有关理论和实际应用问题。
4．VLSI仿真与验证理论与技术。
本研究方向以VLSI设计理论与技术为研究目标，以电路综合、可测性设计和仿真原理为主要研究内容，重点研究VLSI设计CAD的有关理论和实际应用问题。
5．嵌入式结构理论与设计技术。
本研究方向以嵌入式系统设计理论与技术为研究目标，以CPU和DSP模块化IP设计、IDE设计、协同设计为主要研究内容，重点研究IP设计和软硬件协同设计的有关理论和实际应用问题。
6．纳米电子学理论与技术。
本研究方向以纳米尺寸下电路器件结构和模型理论与电路设计技术为研究目标，以纳米条件下模拟和数字集成电路结构、建模理论与方法、噪声分析理论与方法、工艺理论与方法为主要研究内容，重点研究纳米条件下器件和电路的建模理论与方法问题。此外，还包括纳米电子材料的分析研究等内容。
