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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

王朝百科·作者佚名  2011-02-02
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图书信息

书 名: 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

作者:张 王晓浩 唐飞 王文弢

出版社:科学出版社

出版时间: 2010年03月

ISBN: 9787030268624

开本: 16开

定价: 35.00 元

内容简介碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。

《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。

图书目录译者序

前言

第1章 SiCMEMS概述

第2章 SiCMEMS沉积技术

第3章 与SiC接触开发相关的问题综述

第4章 SiC的干法刻蚀

第5章 SiCMEMS的设计、性能和应用

参考文献

附录

……

 
 
 
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