图书信息作者：本社 编
出 版 社：
出版时间：2010-1-1
版次：1
页数：46
字数：93000
印刷时间：2010-1-1
开本：大16开
纸张：胶版纸
印次：1
I S B N：GB/T14264-2009
包装：平装
内容简介内容简介
本标准的附录A和附录B为资料性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准经技术委员会提出。