光刻设备产业技术创新战略联盟于2010年11月10日在上海正式成立，以上海微电子设备有限公司为依托，由我国从事光刻设备技术研究、整机产品研发、零部件制造以及光刻设备应用等相关产学研用单位在完全自愿的基础上组成。联盟以光刻设备技术创新、光刻设备研发和产业化为主题组建成立，属于开放性的非营利性创新组织。
光刻设备产业技术创新战略联盟依托“极大规模集成电路制造设备及成套工艺”国家科技重要专项，研究重大光刻设备系列产品，解决光刻设备受到外国政府出口限制、严重制约我国集成电路产业发展的难题。该联盟致力发挥联盟的产学研用合作优势，力争研发完成完整的光刻设备系列产品，支撑我国集成电路产业的发展。