抛光垫，其包含一具有一顶部表面(10)和一底部表面的主体，所述顶部表面(10)包含一具有一第一深度和第一宽度的第一组凹槽(12)，所述底部表面包含一具有一第二深度和第二宽度的第二组凹槽 (16)，其中所述第一组凹槽(12)与第二组凹槽(16)互连并以使其不对准的方式定向。
抛光垫，其包含一主体，所述主体具有：(a)一顶部表面，其包含一具有一第一深度和第一宽度的第一组凹槽；和(b)一底部表面；其包含一具有一第二深度和第二宽度的第二组凹槽，其中所述第一组凹槽和第二组凹槽互连并以使其不对准的方式定向。