衬底抛光设备，其将诸如半导体晶片的衬底表面抛光至平坦镜面光洁度。根据本发明的衬底抛光设备包括：可旋转工作台(12)，其具有用于抛光半导体衬底(18)的抛光垫；光发射和接收装置(80，82)，其用于发射测量光，以使之穿过设置在抛光垫(16)上的通孔到达半导体衬底(18)，并且接收来自半导体衬底(18)的反射光，以便测量该半导体衬底(18)上的薄膜；以及供给通道(44)，其用于向测量光的通道供应流体。该供给通道(44)具有设置在通孔(84)中的出口部分。
| 笑话军事旅游美容女性百态母婴家电游戏互联网财经美女干货家饰健康探索资源娱乐学院 数码美食景区养生手机购车首饰美妆装修情感篇厨房科普动物植物编程百科知道汽车珠宝 健康评测品位娱乐居家情感星座服饰美体奢侈品美容达人亲子图库折扣生活美食花嫁风景 | 首页 |
衬底抛光设备
免责声明：本文为网络用户发布，其观点仅代表作者个人观点，与本站无关，本站仅提供信息存储服务。文中陈述内容未经本站证实，其真实性、完整性、及时性本站不作任何保证或承诺，请读者仅作参考，并请自行核实相关内容。
百态 2023-10-24
美众议院议长启动对拜登的弹劾调查
百态 2023-09-13
百态 2023-09-13
探索 2023-09-06
印度或要将国名改为“巴拉特”
百态 2023-09-06
百态 2023-09-06
百态 2023-08-20
干货 2023-08-06
百态 2023-08-04
百态 2023-07-31
百态 2023-07-25
探索 2023-07-21
探索 2023-07-09
探索 2023-07-02
百态 2020-08-20
美国5月9日最新疫情：美国确诊人数突破131万
百态 2020-05-09
百态 2020-05-09
荷兰政府宣布将集体辞职
干货 2020-04-30
干货 2020-04-30
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案逍遥观：鹏程万里
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案神机营：射石饮羽
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案昆仑山：拔刀相助
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案天工阁：鬼斧神工
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案丝路古道：单枪匹马
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案镇郊荒野：与虎谋皮
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案镇郊荒野：李代桃僵
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案镇郊荒野：指鹿为马
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案金陵：小鸟依人
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
倩女幽魂手游师徒任务情义春秋猜成语答案金陵：千金买邻
干货 2019-11-12
干货 2019-11-12
靜靜地坐在廢墟上，四周的荒凉一望無際，忽然覺得，淒涼也很美
© 2005- 王朝網路 版權所有