一种包括衬底层和沉积在衬底上的陶瓷层的结构部件。该陶瓷层由陶瓷静电放电耗散材料组成且具有103至约1011欧姆-厘米范围内的电阻率。
【 权利要求 】 一种结构部件，包括 衬底；和 沉积在所述衬底上的陶瓷层，所述陶瓷层包括陶瓷静电放电耗散材料且具有约103至约1011欧姆-厘米范围内的电阻率。