露点传感器芯片是一种新型的露点传感器，测量原理是电学原理，即“结露”前后芯片上薄膜交指电容器介质的有效介电常数明显不同，电容量差别很大。由于这种芯片很小、很薄，可以使用半导体致冷器为冷源，因此体积很小，而且温度控制灵敏、测量周期短，用它可以制造出便携式、高精度、在线式的露点测量仪表。相比之下，传统的冷镜式露点传感器根据的是光学原理，在“结露”后，镜面对光的反射能力明显减弱。由于它存在光路系统，因此结构复杂，而且一般使用液氮或干冰作为冷源，因此，需要有相应的蒸发器，不仅体积较大，操作复杂，而且温度很难精确控制。