离子源悬浮反射电极,该反射电极包括一反射极与阴极连接杆、一绝缘套、一支撑板、一内屏蔽筒、一绝缘柱、一反射极和一连接杆。所述的绝缘套为陶瓷材料。所述的内屏蔽筒为高纯钼材料;所述的绝缘柱为99 陶瓷材料;所述的反射极为高纯钼材料,圆筒结构。该实用新型结构简单,能够保证绝缘瓷柱免受污染,有效地延长离子源的使用寿命。
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