多元红外探测器
multi-element infrared detector
由多个单元红外探测器按一定规则排列而成的线列或面阵器件,有时也称为多元阵列器件。多元探测器可由光电导探测器或光伏探测器组成,也可以由热释电型探测器组成,主要用于红外成像系统。利用光刻、离子蚀刻等半导体工艺技术,可在组分均匀、结构完整的单片半导体材料上制成一维线列或二维面阵,或以其他几何方式排列的多元探测器。也可以用镶嵌的方式制成多元探测器。常用的多元探测器的形状有6×8二维面阵、20元竖线列阵和16元横线列阵。采用多元探测器的优点是:①提高成像系统的信噪比。如采用n元探测器线列器件实行并扫,则成像系统的信噪比可比使用单元探测器提高倍;②降低对探测器性能的要求。由于探测器元数增加而扫描一幅图像的时间不变,像元在每个敏感元上的滞留时间可增加到单元器件的n倍,从而使一些响应时间较长的探测器能得到应用;③降低成像系统的扫描速度,简化扫描机构。当多元面阵器件的元数与像元数相等时(即“凝视”器件),成像系统可免去机械扫描机构。