把待镀膜的基片或工件置于真空室内,通过对镀膜材料加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺过程,称为真空蒸发镀膜,简称蒸发镀膜或蒸镀。
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把待镀膜的基片或工件置于真空室内,通过对镀膜材料加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺过程,称为真空蒸发镀膜,简称蒸发镀膜或蒸镀。