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离子溅射法

王朝百科·作者佚名 2010-01-20

真空容器内，在高压1500V的作用下，残留的气体分子被电离，形成等离子体，阳离子在电场加速下轰击金属钯，使金属原子溅射到样品的表面，形成导电膜。

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