吉元

王朝百科·作者佚名  2010-01-25
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吉元 研究员,硕士生导师。1975年毕业于北京工业大学机械系。1976年至今,先后在北京工业大学显微分析中心和固体微结构与性能研究所工作。1985年~1987年在德国明斯特大学物理所从事扫描电镜(SEM)和电子探针(EPMA)的研究,2001年在德国乌珀塔尔大学电子所从事微电子/光电子器件的扫描探针(SPM)热成像和声成像的研究。

主要研究方向:

扫描电子显微分析方法的研究及新技术开发。包括原位动态观察,绝缘材料的荷电效应、荷电补偿及荷电应用,高分辨成像,电子背散射衍射(EBSD)等。主要涉及半导体结构与电子器件的电、热应力失效分析及可靠性研究,复合材料、化学与生物工程材料的微结构与局域性能的研究。

在研课题:

总装备部国防科技重点实验室VLSI互连线应力迁徙研究项目,国防科工委军用半导体器件电徙动加速寿命实验新方法及应用项目。

科研成果:

曾主持和参加国家和北京市自然科学基金项目,电子工业部军事预言项目及科技攻关项目等。发表论文60余篇。获国家发明专利4项。获电子部及北京市科技进步二等奖、国家和北京市自然科学基金项目优秀项目奖6项。

 
 
 
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