主要学历及工作经历:
1955年生于大连。1982年2月毕业于西安电子科技大学技术物理系半导体物理与器件专业。毕业后先后在电子部14院47所和机械部大连仪表元件厂从事大规模集成电路和半导体传感器研究。1988年进入大连理工大学深造，先后获得通讯与电子系统硕士学位和计算力学博士学位。
出访研究经历：
1994年2月－1996年7月，在香港科技大学电机与电子学系做RA。
1997年8月－1998年11月，在香港科技大学电机与电子学系做访问学者
2000年3月－2001年2月，在香港科技大学电机与电子学系做访问学者
2004年5月－2005年3月，在东京大学生产技术研究所做访问教授
2005年12月，在法国斯特拉斯堡大学合作研究
主要学术及社会兼职:
大连理工大学传感技术研究所所长（现更名为微电子所）
中国仪器仪表学会仪表元件分会副理事长
中国仪器仪表学会传感器分会副理事长
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事
科技部国际科技合作计划项目评价专家
大连市信息化专家咨询委员会委员
《传感技术学报》、《传感器与微系统》、《仪表技术与传感器》、
《黑龙江大学学报（自然科学）》编委
研究领域（研究课题）:
研究领域：
1. 集成电路设计及制造
2. 半导体传感器及其应用
3. 微器件中的微尺度输运理论
在研项目：
1. 国家自然科学基金重点项目“硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究”中“微气压传感器阵列集成芯片系统研究”。
2. 863重点项目“面向安全检测与跟踪网络化微系统”
3. 日本大金公司－清华大学研发中心项目“甲醛传感器研究”及“气味检测装置研究”
4.教育部春晖计划项目“超大规模集成电路测试技术研究”
指导硕、博士生研究方向:
招生专业：
微电子学与固体电子学
电路与系统
物理电子学
研究方向：
集成电路设计、制造及其应用技术；
半导体传感器开发及应用；
微器件中的微尺度理论和技术；
出版著作和论文:
近年来在国内外刊物和会议上发表论文100余篇。近五年的主要论文有：
[1] Evaluation of momentum conservation influence in non-equilibrium
molecular dynamics methods to compute thermal conductivity,
Physica B, 373: 291-296，Elsevier, 2006.
[2] A micro-Pirani vacuum gauge based on micro-hotplate technology,
Sensors and Actuators A, 126:200-205, Elsevier, 2006.
[3] A Genetic Algorithm for Simultaneous Determination of Thin Films
Thermal Transport Properties and Contact Resistance, Journal of
Materials Science & Technology, 2005.
[4] 微热板式低气压传感器的研制，半导体学报，第26卷第7期，2005年，
81－6。
[5] Size effect on heat transfer in micro gas sensors, Sensors and
Actuators, A: Physical,120(2): 397-402, Elsevier, 2005.
[6] 基于硅微加工工艺的微热板传热分析，半导体学报，第26卷第1期，2004
年,192－6。
[7] In-plane thermal diffusivity measurement of thin films based on
the alternating-current calorimetric method using an optical
reflectivity technique, Chinese Physical Letters, Vol.21, No.4,
713-5, April 2004.
[8] An experimental study on high-temperature metallisation for micro-
hotplate-based integrated gas sensors, Sensors and Actuators B86，
1-11, Elsevier, 2002.
[9] Thermal measurement and analysis of micro-hotplate using
thermogrphy, Sensors and Actuators A:100, 144-152, Elsevier, 2002.
[10] An integrated gas sensor technology using surface micro-machining,
Sensors and Actuators B82, 277-283, Elsevier, 2002.
科研成果及所受奖励:
辽宁省教委科技进步奖三等奖两项
大连市政府技术开发一等奖一项
辽宁省政府科学技术奖三等奖一项
黑龙江省科学技术奖二等奖（进步类）
