主要用途： 主要应用于痕量到常量范围内元素的固体形式的直接分析和深度分布分析。 元素分析：整个周期表内的元素均可检测分析，分析对象可以为高纯材料、钢铁、合金、玻璃粉末和陶瓷粉末等，尤其适合于4N-5N纯金属材料的杂质元素的分析。 深度分布分析：不同类型金属涂层，如镀Zn钢板、热和冷轧钢。
仪器类别： 03030704 /仪器仪表 /成份分析仪器
指标信息： 分析样品为平面或针状固体。平面块状固体直径：15～70mm，厚度10um～50mm,针状固体样品长度：20mm，直径：0.5～7mm 典型的放电参数：1kV,3～4mA 仪器RSD% 方法RSD% 成分分析：主量成分（100%～1%） 0.1～1 1～2 少量成分（100%～1%） 0.5～3 3～5 痕量成分（100%～1%） 1～8 5～15 半定量分析：RSF的RSD<30% 检测限：ppb级深度分析：绝对深度分辨率：0.03um
附件信息： 杜瓦瓶（装有液氮用于冷却放电源）
