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真空蒸镀

王朝百科·作者佚名 2010-02-24

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。

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