等离子体放电原理与材料处理|报价¥60.40|图书,科学与自然,物理学,等离子体物理学,迈克·A.力伯曼(Michael A.Lieberman)

王朝王朝水庫·作者佚名  2008-05-21
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目录:图书,科学与自然,物理学,等离子体物理学,

品牌:迈克·A.力伯曼(Michael A.Lieberman)

基本信息

·出版社:科学出版社

·页码:585 页码

·出版日:2007年

·ISBN:9787030186591

·条码:9787030186591

·版次:2007年3月第1版

·装帧:平装

·开本:16开 16开

内容简介

本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。全书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。

本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员,以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。

作者简介

迈克尔·A·力伯曼,博士,加利福尼亚大学伯克利分校电子工程研究生院教授,曾发表170多篇有关等离子体、等离子体材料处理和非线性动力学方面的研究论文,而且同里登伯格教授合著有Regular and Stochastic Motion和Regular and Chaotic Dynamics(第二版)。

编辑推荐

本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。全书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。

本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员,以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。

目录

第1章概述

1.1材料处理

1.2等离子体和鞘层

1.2.1等离子体

1.2.2鞘层

1.3放电

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