工研院电子所将与美商应用材料子公司AKT技术合作,共同开发下世代薄膜电晶体液晶显示器(TFT-LCD)应用制程技术。AKT美国总公司总裁温道尔. 布洛尼根 (Wendell Blonigan)专程来台,于3月19日与工研院副院长兼电子所所长徐爵民代表双方签定合约。
工研院副院长徐爵民表示,台湾TFT-LCD产业发展如日中天,其产值可望在2004年第四季超越韩国跃升为全球第一。然而,台湾TFT-LCD厂商除制造设备主要由国外进口外,其量产应用制程也大都由日本引进。未来为了要提升TFT-LCD面板品质、降低制造成本及建立自有专利权与技术,开发自主应用制程技术已成为台湾TFT-LCD制造厂的当务之急。但是应用制程技术之开发并非一蹴可及,需要投入大量研发人力及资源,因此促成了电子所与AKT的合作计划。
电子所和AKT的合作计画针对台湾TFT厂商之需求开发应用制程技术。为执行此计画,电子所将在工研院院内投资兴建LCD等级无尘室并安装AKT第五代电浆辅助化学气相沈积(PECVD)机台,以开发先进薄膜技术。在分工上,电子所将负责薄膜特性分析与元件验证,AKT则负责下世代薄膜技术与设备制程之研发。预计未来将技术成果移转给国内厂商导入量产之后,可望提升台湾TFT-LCD制程技术。
电子所与AKT过去有多年合作经验,曾共同开发平面显示面板制程,双方相信,这次研发合作案将有助于台湾厂商开发下世代的平面显示制程。
AKT是全球最大的TFT LCD化学气相沈积(CVD)设备制造商,客户群以亚洲占绝大多数,为就近掌握客户需求,将在台设立「AKT亚太研发中心」,并已获得经济部的支持。「AKT亚太研发中心」并将和工研院机械所、汉翔航太、国内大学及相关厂商合作,逐步从平面显示零组件发展到模组,最终达到在台湾整机组装及制造TFT-LCD生产设备的目标。信息来源:半导体照明网