NEC、精工仪器（SII）以及姬路工业大学的松井真二教授于2000年12月7日联合宣布，开发出了厚度小于0.1微米（μm＝1/1000mm）的微小零件制造技术。NEC还展示了由石墨结构碳素和钻石结构碳素形成的厚度为0.1μm、外径为2.75μm的“酒杯 ”以及线宽0.08μm、外径0.6μm的“线圈 ”等试制品的图片。
这些微小产品是使用SII的离子束设备（离子束由镓元素（Ga）产生）将芳香烃（菲C14H10等）瓦斯中包含的碳素堆积在硅板上形成的。具体制作流程如下。首先，将硅板放到集成离子束设备的真空室内，在该室内充满芳香烃气体。通过离子束照射，在硅板上离子束所照射的碳素就会产生堆积。这样通过碳素的反复堆积便可制造出各种形状的立体结构。由于在堆积的碳素中多数都结合成钻石结构，因此具有（1）强度高；（2）不易受到化学反应的侵蚀；（3）透明等特点。制造一个照片中的酒杯大约需要600秒的时间。
采用这一技术制造的零件还有直径0.1μm的“纳米钻头 ”（用于在细胞壁上钻孔等），外径2.75μm的“纳米管 ”（用于输送液体，贮藏/捕获DNA），外径1.2μm的“纳米试杯 ”（用于保存微小物体）等，这些技术可以用来制造纳米级的微小电气机械、微小医疗器具以及微小光学元件等。（摘自日经BP）
