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“刻写”世界高精尖

王朝科普·作者佚名  2007-03-22
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科技日报讯(记者张兆军通讯员于万冰)让激光形成一个极小的点,在200×200×40立方毫米的范围内,或在Φ400毫米的曲面感光材料片上,写满许多微米量级的极小而复杂的图形结构,从而制造出非常高精尖的光学元件产品。这是9月下旬,中科院长春光学精密机械与物理研究所研制出的“二元光学元件激光直接写入设备”拥有的功能,它被中科院院士王大珩、母国光等科学家鉴定为:是当前标志我国高新技术设备水平的标志性设备,它在总体结构和单元技术方面均有特色,在光刻方式和对心装置方面具有创新性,在光刻范围和刻写精度方面超过国际同类设备,特别是在曲面光刻方面具有明显优势;该设备主要技术指标已达到国际最先进设备同等水平。

中科院长春光学精密机械与物理研究所自1996年2月起,开展了二元光学元件直接写入设备的研制工作,目前已实现了部分单元技术的重大创新,如可在同一设备上实现曲面直角和极坐标两种方式光刻;在200×200×40立方毫米的直角坐标范围内,实现亚微米的定位精度的激光直写光刻;在极坐标系中可在Φ400毫米曲面基片上制作元件。

目前,利用该设备研制的元件已成功应用于一些重大的国家工程,它在与光学成像有关的民用领域,如摄像机、照相机、望远镜等,以及微光机械领域等更是有着广泛的应用市场。

 
 
 
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