2005年10月10日，德国联邦教研部和德国电气、电子和信息技术协会共同举办了德国微系统技术大会，约500多名专家出席了会议。联邦教研部国务秘书弗里德.麦耶-克拉莫在会上强调了微系统技术应用的广泛性及其蕴藏的巨大创新潜力。目前，无论是在可携带的燃料电池方面，还是在医疗诊断芯片方面，甚至在极微小的无线电标签等方面，都具有很好的应用前景。
联邦教研部今后将继续大力支持该项技术的发展。到2009年，每年将提供5千万欧元的资助。最近，联邦教研部又启动了一项2千万欧元的微型燃料电池创新项目，其目的是在小型的、为可携带的电子设备供电的燃料电池领域方面打开市场。目前资助的重点是用于生物技术的集成微系统。