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　　分類: 图书,工业技术,电子 通信,微电子学、集成电路（IC）,

作者： （美）布兰德，（美）费德著

出 版 社： 东南大学出版社

出版时间： 2007-7-1字数： 632000版次： 1页数： 500印刷时间： 2007/07/01开本：印次：纸张： 胶版纸I S B N ： 9787564107840包装： 平装内容简介

本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。

本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

目录

1制造工艺

1.1CMOS工艺

1.2CMOS兼容的微机械加工工艺模块

1.3MEMS和NEMS的CMOS兼容设计

1.4CMOS的微机械加工

1.5结束语

1.6参考文献

2材料表征

2.1引言

2.2电特性和热电特性

2.3热特性

2.4机械特性

2.5结束语

2.6参考文献

3单片集成惯性传感器

3.1引言

3.2集成多晶硅惯性传感器

3.3采用CMOS标准工艺加工的薄膜惯性传感器

3.4金属惯性传感器

3.5体硅加工集成MEMS惯性传感器

3.6发展趋势

3.7参考文献

4CMOSMEMS声学器件

4.1引言

4.2麦克风

4.3扬声器

4.4超声

4.5结论

4.6参考文献

5CMOSRFMEMS

6CMOS压力传感器

7CMOS化学传感器

8生物测定CMOS电容式指纹传感器系统

9CMOS生化敏感系统

10CMOS热传感器

11电路和系统集成

 

 

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