点此进入淘宝搜索页搜索　　參考價格: 点此进入淘宝搜索页搜索
　　分類: 图书,电工技术,电机,微电机,
　　品牌: 浮田

基本信息·出版社：科学

·页码：250 页

·出版日期：2007年

·ISBN：9787030182401

·条形码：9787030182401

·包装版本：第1版

·装帧：平装

·开本：16开

产品信息有问题吗？请帮我们更新产品信息。

内容简介光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结构，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。

本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。

编辑推荐光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结果，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。

本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。

目录

Preface

1 From Optical MEMS to Micromechanical Photonics

1.1 Micromechanical Photonics-An Emerging Technology

1.2 Fabrication Methods

1.2.1 Bulk and Surface Micromachining

1.2.2 Three-Dimensional Micromachining

……[看更多目录]

 

 

免责声明：本文为网络用户发布，其观点仅代表作者个人观点，与本站无关，本站仅提供信息存储服务。文中陈述内容未经本站证实，其真实性、完整性、及时性本站不作任何保证或承诺，请读者仅作参考，并请自行核实相关内容。