臭氧的人工生产早在1857年德国人吉门斯就研制出其发生装置。但由于其体积庞大，臭氧浓度低，成本高等问题一直没有走入家庭。真正小型化的家庭用臭氧机的出现仅是近几十年的事。人工生成臭氧的主要方法有：电化学法、光化学法及电晕放电法等几种。
电化学法是利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧的方法。电解法生成臭氧具有臭氧浓度高、成份纯净、在水中溶解度高的优势，在医疗、食品加工、养殖业及家庭应用等方面具有广泛前景。在降低成本与电耗条件下将与目前广泛应用的电晕放电法臭氧发生器形成激烈竞争。
光化学法实质是仿效大气层上空紫外线促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法，即用人工产生的紫外线促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法。此种方法产生臭氧的优点是对温度、湿度不敏感，具有很好的重复性；同时，可以通过灯功率线性控制臭氧浓度、产量。
电晕放电法就是在常压下使含氧气体在交变高压电场作用下产生电晕放电生成臭氧的过程。电晕放电法臭氧发生器是相对能耗较低、单机臭氧产量最大、市场占有率最高、应用最广的臭氧发生装置。电晕法分为平行板式、玻璃管式、滑轮式三种方式。平行板式按介电体分为玻璃管式、陶瓷表面式；按电极形式又可分为网状电极式及管状电极式。这里我们仅以平行板式为例说明其工作原理。在两平行板之间加上交变的高压电源，两极板之间放置玻璃或陶瓷等介电体，当交变高压电作用于两极时，极板间将发生放电现象，此时放电空间流动的氧气在放电作用下发生分解反应，出现游离的氧原子，氧原子再与氧气反应生成臭氧。这种平行板式臭氧发生器具有结构简单，可维护性好且性能良好，具备小型化条件，所以，一般家用臭氧发生器均采用此种形式.
参考资料：http://www.ok668.com/web/cn/NewsInfo.asp?id=69
