一、庄严具，例如幡、天盖（伞）、斗帐、花鬘、佛龛、花瓶、香炉等可资庄严整饰佛堂、道场的器物。
二、供佛器，例如香花、香炉、烛台、灯笼、佛饭器、茶汤器、水瓶（净瓶、军持）、花笼、盘、棹、几等可资日常勤行供养的器具。
三、报时器，例如梵钟、金鼓、磬、钲鼓、铜锣、铙钹、铃、木鱼、云板、鱼板等，可供寺院日常行事或临时集会之敲鸣用。此类法器制作精美，特具美术价值以外，而且在制作时所刻载的作者姓名、年代、铭文等，更富于史料文献的意义。
四、容置器，例如舍利容器、经箱、经箧、袈裟箱、戒体箱等，可收藏或装置有关习道的用具。
五、携行器，例如念珠、钵、锡杖、如意、麈尾、拂子等僧人日常随身所持的器物。
六、密教法具，例如轮宝、羯磨金刚、金刚杵、金刚铃、金刚盘、六器（火舍、阏伽器、涂香器、花鬘器、灯明器、饭食器），及结界所用的四橛，上面总称为大坛具。其中，轮宝是转法轮的象征，有八幅轮、十二幅轮等数种。羯磨金刚又称为羯磨杵，也可以单称为羯磨，呈三钴十字的形状。金刚杵有独钴杵、三钴杵、五钴杵、九钴杵等诸种，其各钴（股）的形状有的呈现为鬼面，有的为人形，钴的上方则呈现握状，可以用来让修行者作为手持之用。金刚铃也有独钴铃、三钴铃、五钴铃的差别；如果将以上三种铃安置在塔顶宝珠形的上端，那么便称为塔铃、宝铃。金刚盘是修法时用来安置金刚杵、金刚铃等物品。
六器是用来盛放阏伽（净水）、涂香、花、烧香、饮食、灯明等六种供养，并且随佛部、莲花部、金刚部等所供奉的本尊，及修法的目的，如息灾、增益、降伏等，乃至修法所期望达到上、中、下三种成就的不同，供物也随之不同。
（1）阏伽，三部都持净水，仅此一项三部都是相同。
（2）涂香，供养佛部的本尊是用各种草、根汁的香及花等三物合制而成；供养莲花部的本尊，是用各种香树的皮、白栴檀香、煎香及香等物和合而成；供养金刚部的本尊，是用香草的根、花、果叶等和合而成。其中，根果的香气重，所以通用于三部的本尊。在修息灾法时，用白色涂香；修增益法时，用黄色涂香；修降伏法时，用紫色涂香。
（3）花，佛部供养阇底苏末那花，莲花部供养红莲花，金刚部供养青莲花。修息灾法时，用味甘的白色花；修增益法时，用味淡的黄色花；修降伏法时，用味辛的紫色花。
（4）烧香，佛部用沉水香，莲花部用白檀香，金刚部用郁金香。修息灾法时，用捣丸香；修增益法时，用作丸香；修降伏法时，用尘末香。
（5）饮食，凡是各种饼、果食、羹臛等等都是饮食，但是用山中所生者供养佛部，水中所生者供养莲花部，苦辛淡味者供养金刚部。修息灾法时，用甘甜味的果食；修增益法时，用甘酢味的果食；修降伏法时，用辛淡味的果食。另外，佛部供养米粉等食品，可以用来圆满息灾法的上成就；莲花部供养麦面等食，可以圆满增益法的中成就；金刚部用油麻、豆子等食物，可以圆满降伏法的下成就。
（6）灯明，三部通用最好的牦牛苏油。修息灾法时，用香木油或白牛苏；修增益法时，用黄牛苏或麻油、药油；修降伏法时，用白芥子油或恶香气油。
密教对饮食的供养有特殊的规制，如《陀罗尼集经》卷三〈般若心经轨〉记载，坛上所供养的饮食、饼果等必须每天都要更换，而且所撤下的供养成残食，咒师及病人等不得食用，如果违反规制而食用，那么他的咒力就会失效；反过来，用残食布施贫穷的人，这是第一功德。另外，行供养所专用的桌形密坛，称为供养坛或供坛，上面放置金刚盘、六器、饮食器、灯明台等，用来庄严供养坛。
密教法具的用法、形状、种类等，都是来自密教教义仪轨的规定，通常比显教各宗更具有浓厚的神秘性与象征性，例如以独钴表示一真如，三钴表示三密（身、口、意）、三身（法身、报身、化身）或三部（佛部、金刚部、莲花部），五钴代表五智、五佛。这类密教法器大多为铜制镀金而制成，铸造非常精致，为古来鉴赏家所津津乐道。
参考资料：http://www.lingshan.cn/lsbbs/dispbbs.asp?boardID=24&ID=6827