概述等离子无机合成 plasma inorganic synthesis
等离子无机合成是一种利用等离子体的特殊性质进行化学合成的方法。具体工艺及应用介绍等离子体分为高温等离子体和低温等离子体。高温等离子体通常接近于局部热力学平衡状态，体系的动力学温度、激发温度和电离温度都相等，适用于粉末冶金、超耐高温材料和陶瓷材料的合成等，可用高强度电弧放电和射频放电获得高温等离子体。
低温等离子体的电子温度远高于重粒子温度，处于非热力学平衡状态，可在低温时得到高浓度的活化成分，适用于合成非热稳定化合物，或使一些需要在高温、高压下进行的反应在温和的条件下进行，如合成氨和氮氧化物、金刚石等。可用低强度电弧放电、微波诱导放电等方法获得低温等离子体。