20世纪60年代，为满足特种部队和保安部队在特殊情况下的作战需要，人们开始研制短小轻便且单手射击的轻型、微型冲锋枪，它的特点是体积小、精度高、重量轻、弹匣容量大，有的微型冲锋枪还装有消声器。
说起微型冲锋枪，不能不提德国的MP5冲锋枪。它是当代使用最广泛的冲锋枪之一，自诞生以来，其优良的性能已经博得20多个国家特种部队的青睐，是公认的世界名枪。
MP5冲锋枪性能优越，特别是半自动、全自动射击精度高，更值得一提的是MP5尺寸按比例缩小，闭锁机构采用滚柱闭锁的延迟后坐方式，采用闭膛待击的方式。闭膛待击时，枪机组件呈闭锁状态不会移动，一扣扳机，击锤前进，使击针击发枪弹，具有较高的命中精度。即使在连发射击情况下，滚柱闭锁冲锋枪也不会产生不必要的振动，便于操作和保持较高的命中精度。
l977年10月17日，德国反恐怖特种部队--第九边防大队在摩加迪沙机场的的反劫机作战中使用了MP5型冲锋枪。4名恐怖分子都被击中，其中3名当场死亡，1名身负重伤，近80名乘客得到了营救。这次作战说明了MP5在近距离内具有很高的命中精度。此后，德国各州的警察相继决定装备MP5。国外的警察、军队，特别是反恐怖部队和特种部队注意到MP5的高命中精度，使MP5的出口逐渐增加。
为满足特种部队和警察需要，德国还研制生产了MP5SD型微声系统变型枪。在20世纪70年代，恐怖分子袭击重要人物多数采用可猛烈全自动射击的冲锋枪和突击步枪。面对这种情况，承担警卫任务的警察深感半自动手枪的威力不足。因此，HK公司于1976年推出了短枪管MP5，即MP5K冲锋枪。正像半自动手枪那样，这种超微型冲锋枪可隐藏在衣服垫肩下方，以免引人注目。
微型冲锋枪中，以乌齐冲锋枪最为著名。乌齐冲锋枪是以色列人于40年代末开始研制的。那时，以色列同阿拉伯国家刚刚停火不久，双方都感到这个停火是不稳定的。因此，以色列就积极扩军备战，1948年，一位名叫乌齐·加尔的以色列陆军中尉开始潜心研究各种冲锋枪。不久，这位天才的年轻人取百家之长，研制出一种适合中东沙漠地区作战环境的冲锋枪，这种冲锋枪体积小，结构既紧凑、性能又可靠，以色列军队对该枪试验评审以后，大为欣赏，当即责令以色列军火工业管辖的工厂进行大批生产，并命名为“乌齐冲锋枪”，装备以色列全军。今天，乌齐冲锋枪已经名声大震，遍布全世界，除作为以色列的制式冲锋枪外，美、英、德、比等国的特种部队采用了它。一些以色列士兵不无自豪地称它为“沙漠杀手”。
在营救人质等特殊战斗中，这种乌齐冲锋枪是特种部队队员得心应手的武器。在1976年6月的一起反恐怖劫机中，以色列政府组织突击队，由伞兵司令薛姆龙担任总指挥，乔纳桑·内特雅鲁担任袭击分队队长。由280名精兵悍将组成的突击队，人人手持乌齐冲锋枪，乘坐C一30大型运输机，在突袭机群的掩护下，抵达乌干达恩培德机场。装甲运兵车和美式GMC军用吉普满载突击队员，直扑候机大楼，首先消灭了十几名守卫在外的乌于达士兵，接着又消灭了候机大厅内夹杂在人质中的劫机分子和10余名乌于达守军，突击队员无一伤亡，使用的就是乌齐冲锋枪。
1964年8月，美国枪械设计师戈登·B·英格拉姆参观了埃尔基亚加兵器公司，萌生研制开发小巧玲珑冲锋枪的念头。不久，他以惊人的速度研制出原型样枪。1965年，英格拉姆接管埃尔基亚加兵器公司后，又在原型样枪的基础上研制出两种样枪：一种为标准Ml0，另一种为M11，后一种使用柯尔特9.65毫米短弹，两种枪结构原理完全相同，只是使的枪弹和质量不一样。后一种结构紧凑，重量轻，制造工艺简单，性能比较好，是飞行员、坦克和装甲车辆乘员、重型武器射手等人员的理想武器，也是保安人员和反恐怖人员得心应手的武器，深受世界许多国家的普遍欢迎，除美军装备外，大部分被其他国家所购买，如阿根廷、玻利维亚、哥伦比亚等。
幽灵冲锋枪在1983年美国战备协会年会上首次露面，引起军队和警察部门的极大关注。该枪是意大利塞茨公司积累12年反恐怖斗争的经验，分析了14000余例作战实例后，于1982年设计的。“幽灵”冲锋枪是专门对付犯罪分子合作的近距离、非常规战中的理想武器。
中国枪械设计师对冲锋枪的战术技术要求发展趋势是质量更轻、外部尺寸更小、射击方式更灵活、携行更方便和环境适应性更强等特点，研制了轻型、微型和微声等型号的冲锋枪，主要有两种冲锋枪，一种是1979年式轻型冲锋枪，另一种是1984年式微声冲锋枪。
1979年定型的轻型冲锋枪，全枪质量1.9公斤，折叠式枪托，可单连发，火力比较猛烈，主要装备侦察兵、空降兵、坦克兵和武警部队等。冲锋枪的自动方式一般都采用枪机后坐式，而这种枪却使用了导气式自动原理，设计师主要是为了减小枪机的质量和尺寸并可保证机构动作的可靠性。该轻型冲锋枪的不足之处是结构比较复杂。
1984年定型的微声冲锋枪，全枪质量3.4公斤，折叠式枪托，采用自由枪机式，备有20发和30发弹匣，可单、连发，战斗射击速率60发。消音器作用可使枪口附近声响降至84分贝以下（一般不易觉察到是枪声），通常配装特种部队使用。
