SF6气体是一种惰性化学气体，虽然本身无毒，但大量吸入却使人因缺氧而窒息。由于SF6比空气重5倍。当SF6断路器严重泄漏时，大量SF6气体将充入配电室、电缆沟或地面，并从低于高逐渐堆集，将低凹空间内的空气“挤走”。此时如果有人进入配电室和电缆沟内工作，将吸入大量的SF6气体，停留时间过长就会因缺氧而死亡。
因此，在有SF6气体大量外漏的场所，应开窗通风或用排风设备将SF6气体排出。只有当SF6气体在室内稀薄到一定程度后，才允许人员进入。
在有人长期工作的环境中，SF6的气体的允许浓度，美国卫生标准建议可为1000PPm。